ОбојеВакуум пумпа и компресорсу уређаји за прераду гаса, али њихови принципи и обим примене су различити.
Главна функција вакуумске пумпе је уклањање гаса из реакционог комора да смањи притисак у контејнеру да би се постигао унапред одређени вакуум степен. Гас се извлачи из простора кроз усисавање и механизам издувних гасова како би се формирао вакуум државу. Вакуумске пумпе се обично користе у лабораторијама, производњи и производним пољима. У Вафер Фабс, опрема за етцхинг, опрема за таложење, ЕУВ литографија и опрема за имплантацију, опрема за откривање и карактеризацију итд. Све је потребно усисати.
Функција компресора је удисати гас и компримирати га, повећати притисак гаса, компримирати гас у мању количину и повећати густину и притисак гаса. Његов принцип рада је да компримира гас кроз испушни вентил, а затим ставите компримовани гас у резервоар за гас или другу опрему. Компресори се обично користе у обради и производњи поља. ЦДА гас о којем често говоримо да обезбеди компресор. ЦДА се користи за контролу разне опреме и вентила за аутоматизацију. За производњу полуводича ЦДА мора бити веома чиста и сува. Излаз ваздуха од стране компресора мора да прође кроз софистицирани систем филтрације ради уклањања уља, влаге и других честица како би се осигурало да нема контаминације вафла.
Које су категоријеВакуум пумпа и компресор?
У полуводичкој опреми, обично се користе суве пумпе и молекуларне пумпе. Сува пумпа односи се на вакуумску пумпу која не користи никакву течност као средство за бртвљење или хлађење, избегавајући проблем контаминације паре уља. Опћенито се користи за грубо вакуум екстракцију полуводичке опреме. Молекуларне пумпе могу постићи изузетно високе вакуумске нивое. Суве пумпе и молекуларне пумпе се често користе у комбинацији у полуводичкој опреми за задовољење потреба различитих нивоа вакуума.
Компресори се могу поделити у клип, вијак, центрифугалне, ротационе компресоре за ваздух итд.
Због различитих дизајна и принципа рада вакуум пумпе и компресора, вакуумске пумпе обично не могу заменити компресоре. Иако вакуумске пумпе могу смањити притисак и густину гасова, не могу да утичу гасове у мање количине и виши притисци. Поред тога, због ограничених перформанси и радних карактеристика вакуумских пумпи, они су најприкладнији за руковање гасовима са ниским густинама и окружењима ниског притиска.
Стога, ако гас треба да се компримира у мањи обим и виши притисак, треба користити компресор. Напротив, ако га гас мора извадити и формира се вакуум држава, треба користити вакуум пумпу.
Иако обојеВакуум пумпа и компресорДа ли су уређаји који се користе за обраду гаса, постоје велике разлике у принципу дизајна и рада. Иако вакуум пумпа може смањити притисак и густину гаса, не може заменити компресор, посебно када гас треба да се компримира у мањи обим и виши притисак.
